填充La(Ca) CrO3的SiCN前体薄膜温度传感器 能够测量高达1100°C的高温
Gonghan He1, Yingping He1, Lida Xu1
1Department of Mechanical and Electrical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China.
Micromachines
|September 28, 2023
概括
研究人员开发了一种简单的方法,使用氧化SiCN和La(Ca) CrO3.3制造高温薄膜传感器. 这些传感器在航空航天应用中显示出出色的氧化抵抗性和稳定性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 传感器技术 传感器技术
- 航空航天工程 航空航天工程
背景情况:
- 薄膜传感器对于在恶劣环境中进行现场监测至关重要,例如航空航天发动机.
- 挑战包括材料氧化和高温复杂制造.
研究的目的:
- 为耐高温薄膜温度传感器开发一种简单的制造方法.
- 为了提高航空航天应用的氧化抵抗和性能稳定性.
主要方法:
- 印和空气回火被用于制造氧化SiCN前体和La(Ca) CrO3复合薄膜.
- 传感器的性能在广泛的温度范围内 (200°C至1100°C) 进行了测试.
主要成果:
- 开发的传感器表现出从200°C到1100°C的广泛温度响应,具有负温度系数 (NTC).
- 证明了异常的高温氧化耐受性,在空气中在1100°C下1小时后,耐力变化仅为3%.
- 在200°C时,高温电阻系数 (TCR) 达到-7900 ppm/°C.
结论:
- 简单的制造方法产生了耐高温薄膜传感器,与现有的SiCN前体传感器相比,具有更高的氧化阻力.
- 这种方法对各种高温传感器 (应变计,热流传感器,热电偶) 和现场监测应用具有潜力.
