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Vinod Belwanshi1,2, Kedarnath Rane3, Vibhor Kumar4
1CSIR-National Metallurgical Laboratory, Jamshedpur 831007, India.
本研究提供了微系统中薄膜的设计指南,使用有限元分析 (FEA) 确保线性响应和高灵敏度. 这些指导方针减少了微电子机械系统 (MEMS) 的开发时间和成本.
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