使用贝塞尔束,超短两脉冲激光和选择性化学蚀刻进行透过玻璃 (TGV) 的研究
Jonghyeok Kim1,2, Sungil Kim1, Byungjoo Kim1
1Department of Laser & Electron Beam Technologies, Korea Institute of Machinery & Materials, 156 Gajeongbuk-Ro, Yuseong-Gu, Daejeon 34103, Republic of Korea.
Micromachines
|September 28, 2023
概括
对玻璃插座的激光蚀刻,光子的电吸收比热吸收更有效. 这一发现提高了批量生产中透过玻璃通道 (TGV) 生产的速度.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 激光处理 激光加工
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 选择性激光蚀刻是大规模生产玻璃插座的关键.
- 该过程涉及超短脉冲激光修饰,随后进行化学蚀刻.
- 了解光子吸收机制 (电 vs 热) 对于优化至关重要.
研究的目的:
- 为了比较激光蚀刻过程中商业玻璃中电热光子吸收的有效性.
- 为了研究二次激光脉冲对蚀刻过程的影响.
- 为了提高透过玻璃的通道 (TGV) 产生的速度.
主要方法:
- 用超短脉冲激光器辐射商业玻璃.
- 在初始脉冲之后执行二次激光脉冲 (213 ps和10 ns).
- 在110°C使用8mol/LKOH溶液蚀刻修饰玻璃样本.
主要成果:
- 发现光子的电吸收比热吸收更有效.
- 使用二次激光脉冲来探测不同的吸收机制.
- 该研究确定了一条改善TGV发电效率的途径.
结论:
- 光子的电吸收优于激光诱导玻璃修饰的热吸收.
- 这一发现为加速TGV制造过程提供了一种方法.
- 优化基于电吸收的激光参数可以改善玻璃插座器的生产.


