用于各种扫描策略的低功耗紧型3D构造的AlScN压电MEMS镜子
Jeong-Yeon Hwang1, Lena Wysocki1, Erdem Yarar1
1Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT), Fraunhoferstraße 1, 25524 Itzehoe, Germany.
Micromachines
|September 28, 2023
概括
本研究介绍了一种新的3D构造的酸 (AlScN) 压电微电子机械系统 (MEMS) 镜子. 该设备实现了多样化的1D和2D扫描模式,具有高光学扫描角度,即使在低电压下也是如此.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 机械工程 机械工程
背景情况:
- 微电子机械系统 (MEMS) 镜子对于光学应用至关重要.
- 压电材料为MEMS设备提供了独特的执行能力.
- 甘化 (AlScN) 是先进的MEMS的一个有前途的压电材料.
研究的目的:
- 为推出一种新的3D构造的AlScN压电MEMS镜.
- 描述设备的驱动机制和扫描功能.
- 为了展示各种应用的各种扫描模式.
主要方法:
- 一个3D构造的AlScN压电MEMS镜子的制造.
- 准静态和共振扫描模式的实验性表征.
- 评估1D线扫描和2D区域扫描模式.
主要成果:
- 在近静态模式下,在±20V时获得了10.4°的总光学扫描角度.
- 在共振1D线扫描模式下,在100mVpp获得了14°的总光学扫描角度.
- 成功演示了各种2D扫描模式 (Lissajous,圆形,螺旋,形).
结论:
- 该AlScN压电MEMS镜子支持多种扫描策略,具有高性能.
- 该设备即使在低应用电压下也能有效工作.
- 进一步的研究正在进行中,以提高准静态扫描角度,高达±120V.


