3DAlScNMEMS

Jeong-Yeon Hwang1, Lena Wysocki1, Erdem Yarar1

  • 1Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT), Fraunhoferstraße 1, 25524 Itzehoe, Germany.

Micromachines
|September 28, 2023
PubMed
概括

本研究介绍了一种新的3D构造的酸 (AlScN) 压电微电子机械系统 (MEMS) 镜子. 该设备实现了多样化的1D和2D扫描模式,具有高光学扫描角度,即使在低电压下也是如此.