在基于同轴射流直接写的二氧化上沉积统一的纳米尺度模式
Shiwei Shi1, Zeshan Abbas1, Xiangyu Zhao1
1Key Laboratory for Micro/Nano Technology and System of Liaoning Province, Dalian 116024, China.
Polymers
|September 28, 2023
概括
这项研究引入了同轴电动力喷射方法,以稳定低粘度溶液打印. 通过使用可拆卸的外层和联合力量,它增强了NEMS/MEMS设备的纳米结构制造.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 流体动力学 流体动力学
背景情况:
- 打印低粘度解决方案在稳定性和结构完整性方面存在挑战.
- 传统的方法在精确的沉积和微妙的纳米结构的对齐方面扎.
研究的目的:
- 开发一种辅助方法,以提高低粘度溶液的印刷稳定性.
- 为了提高印刷多功能结构的一致性,耐用性和对齐性.
- 为了使纳米设备的高效制造成为可能.
主要方法:
- 使用同轴电动力喷气机,具有高粘度可拆卸的外层.
- 应用机械和电力力量的组合来控制喷气轨迹和稳定性.
- 模拟喷气速度,表面电荷和工作电压的影响.
- 在二氧化上制造了一系列100nm IDT-BT纳米结构.
主要成果:
- 成功稳定了低粘度溶液的印刷.
- 使用拖动力减少了喷气轨迹的不稳定性.
- 通过匹配基板和喷气速度 (350 mm/s) 实现了纳米结构的精确制造.
- 证明了创建100纳米尺度纳米结构的可行性.
结论:
- 拟议的同轴电动力喷射方法为打印低粘度溶液提供了稳定的方法.
- 这种技术为高效率制造纳米设备 (NEMS/MEMS) 提供了宝贵的参考.
- 该方法提高了纳米级打印中的结构完整性和精度.
