,使SiNx

Felix Jiang1,2, Meguya Ryu2,3, Vivek Pachauri1

  • 1Institute of Materials in Electrical Engineering 1, RWTH Aachen University, Sommerfeldstraße 18-24, Aachen 52074, Germany.

PubMed
概括

一个新的设备使用锁定光热方法测量化 (SiNx) 膜的平面内热扩散率. 结果显示,纳米级几何学与散装材料相比,显著降低了热扩散率.