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Updated: Jul 15, 2025

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Laser-induced Forward Transfer for Flip-chip Packaging of Single Dies
Published on: March 20, 2015
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概括
研究人员开发了一种新的透明导电结构,以取代基于化 (GaN) 的垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 中的氧化 (ITO). 这种新的结构通过降低值电流和增加输出功率,显著提高了激光性能.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 氧化 (ITO) 是基于化 (GaN) 的垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 的标准电流扩散层.
- ITO的显著吸收限制了激光输出功率,增加了值电流,并阻碍了紫外线 (UV) 激光.
研究的目的:
- 研究一种新的透明导电结构,以取代基于GaN的VCSEL中的ITO.
- 为了优化拟议的结构,以提高激光性能.
主要方法:
- 模拟了用于发光二极管的周期性p-AlGaN/u-GaN/p-GaN结构.
- 优化的层参数:10 nm p-Al0.1Ga0.9N/2 nm u-GaN/8 nm p-GaN,与n-GaN/n-Al0.2Ga0.8N相结合在n区域.
- 将优化结构应用于435nm的VCSEL,并将性能与基于ITO的VCSEL进行比较.
主要成果:
- 新结构将极限电流密度从9.17 kA/cm2降低到3.06 kA/cm2.
- 激光输出功率从1.33mW增加到15.4mW.
- 优化的结构显示激光效率和功率显著提高.
结论:
- 拟议的周期性p-AlGaN/u-GaN/p-GaN结构是基于GaN的VCSEL的可行和优越的替代ITO.
- 这种结构提供了高激光功率和较低的值,为未来的UV VCSEL调查铺平了道路.

