用于集成电路应用的钻石气空白色中心温度计.
Guobin Chen1,2, Di Wu1, Yawen Xue1
1College of Telecommunications and Information Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210003, China.
The Review of scientific instruments
|October 2, 2023
概括
量子钻石气空缺中心为集成电路提供先进的温度传感. 本研究介绍了一种从磁场分离温度的数值方法,使得芯片应用中精确的热成像成为可能.
科学领域:
- 量子传感是一种量子感应.
- 固态物理 固态物理
- 集成电路的热管理.
背景情况:
- 准确的温度测量对于先进的芯片开发至关重要.
- 传统的红外成像技术面临着分辨率和精度的限制.
- 量子钻石气空缺中心对温度传感有希望,但与磁场干扰作斗争.
研究的目的:
- 开发一种数字方法来解离温度和磁场效应.
- 为了在高电流密度集成电路 (IC) 应用中实现精确的温度传感.
- 克服微电子现有温度测量技术的局限性.
主要方法:
- 用一个整体哈密尔顿式进行数值分析.
- 将该方法应用于高电流密度的IC环境.
- 开发一种技术来区分温度信号与磁场噪声.
主要成果:
- 实现了22.9mK/Hz1/2.2.的温度灵敏度
- 证明了扫描温度成像能力.
- 在典型的IC上获得了20μm的空间分辨率.
结论:
- 拟议的数值方法有效地将IC中的温度和磁场脱.
- 这种技术提高了量子钻石传感器用于热管理的准确性和适用性.
- 能够实现高分辨率,敏感的温度映射,这对于现代芯片设计和分析至关重要.


