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Updated: Jul 15, 2025

10:16
A Protocol for Real-time 3D Single Particle Tracking
Published on: January 3, 2018
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设计二维压电激光扫描仪系统,用于精确的激光光束转向
Dong Luo1, Xiaogang Xiong2, Wei Chen1
1Shenzhen Institutes of Advanced Technology, Chinese Academy of Sciences, 518055 Shenzhen, China.
The Review of scientific instruments
|October 4, 2023
概括
一个新的大孔2D压电激光扫描仪使用内置传感器和闭环控制来实现高精度. 与开环方法相比,该系统显著减少了错误,实现了精确的偏斜角度跟踪.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
- 控制系统 控制系统
背景情况:
- 压电驱动器表现出hysteresis,导致激光扫描仪系统的非线性.
- 在大光圈2D激光扫描仪中实现高精度是具有挑战性的,因为执行器非线性.
- 现有的系统经常在精确的偏转角度控制方面扎.
研究的目的:
- 设计和原型一个大孔二维 (2D) 压电激光扫描仪系统.
- 采用内置传感器来检测偏斜角度和闭环控制.
- 分析和比较控制方案,以克服压电歇斯底里.
主要方法:
- 设计和原型一个2D激光扫描仪使用三个放大压电驱动器在一个等边三角形配置.
- 实现了内置传感器来检测扫描仪的偏斜角度.
- 分析了倾斜原理和控制方案,比较了开环和闭环控制策略.
主要成果:
- 闭环控制的准确性明显高于开环控制.
- 使用闭环控制,相对误差从2%-4%降低到大约0.5%.
- 偏斜角度跟踪精度在40μrad范围内实现.
结论:
- 开发的2D压电激光扫描系统提供了大光圈和高精度.
- 机载传感与闭环控制相结合,有效地减轻了压电驱动器非线性.
- 该系统为精密激光扫描应用提供了强大的解决方案.

