通过低成本的化学溶液沉积生产的氧化薄膜:调整微观结构,光学和电气性能与加工条件

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 固态物理 固态物理
• 薄膜技术 薄膜技术

背景情况:

• 氧化物 (IZO) 是一种透明的导电氧化物,在电子领域具有潜在的应用.
• 控制IZO膜的微观结构和特性对于设备的性能至关重要.

研究的目的:

• 研究热温度对IZO薄膜的结构,电气和光学性能的影响.
• 优化低成本,高性能IZO薄膜的制造过程,用于透明电子产品.

主要方法:

• 乙醇 - 乙烯 - 糖醇前体溶液的螺旋涂层.
• 在各种温度 (500-700°C) 的空气中进行热,然后进行Ar/H2后.
• 使用热分析,FTIR,XRD,显微镜 (SEM,AFM),XPS和光谱圆测量进行表征.

主要成果:

• 获得了具有RMS表面粗度<1 nm的透明IZO薄膜.
• 最低的电阻率为0.0069 Ωcm,可以在600°C时炼的薄膜中实现.
• 片表现出无形半导体特性,具有光学异质性和约2.6 eV的陶克差距能量.

结论:

• 化学溶液沉积是一种可行的低成本方法,用于制造IZO薄膜.
• 热温度显著影响微观结构,电气和光学性能.
• 优化的IZO薄膜适用于透明电子的应用.