Tianxiang Dai1, Thaibao Phan1, Evan W Wang1

  • 1Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, CA 94305 USA.

PubMed
概括

这项研究提出了一种用于同时测量穆勒极化和波长的新型成像系统. 这项技术可以为先进的光学计量应用提供精确的薄膜厚度映射.