快照 穆勒光谱对比仪成像仪
Tianxiang Dai1, Thaibao Phan1, Evan W Wang1
1Department of Electrical Engineering, Stanford University, Stanford, CA 94305 USA.
Microsystems & nanoengineering
|October 10, 2023
概括
这项研究提出了一种用于同时测量穆勒极化和波长的新型成像系统. 这项技术可以为先进的光学计量应用提供精确的薄膜厚度映射.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 计算成像技术的成像
背景情况:
- 精确的偏振和波长测量对于材料特性和光学计量学至关重要.
- 现有的成像系统通常需要多次捕获或复杂的设置,限制实时分析.
- 同时获取偏振和光谱信息在光学成像中是一个重大挑战.
研究的目的:
- 开发一种先进的成像系统,能够同时在单个图像采集中,在多个波长通道中捕捉完整的穆勒偏振响应.
- 用定制的神经网络展示这个新型成像系统的实时校准方法.
- 通过准确地重建薄膜厚度图来验证系统的性能.
主要方法:
- 实施一个分焦平面概念,整合多重复的富里埃光学和望远镜光场成像系统.
- 利用宽带纳米结构的等离子极化器作为功能性针孔孔口,用于极化分辨率成像.
- 开发和应用基于神经网络的校准方法,用于实时数据处理.
主要成果:
- 在单个图像捕获中成功同时记录完整的穆勒极化反应和波长通道.
- 高度可解释的极化和波长信息直接记录在图像传感器上.
- 使用校准系统,从四英寸晶圆中精确重建薄膜厚度图.
结论:
- 开发的成像系统在同时极化和光谱成像方面取得了重大进展.
- 实时校准方法提高了系统在计量学和机器视觉中的实际应用性.
- 这项技术有可能用于计量学,机器视觉,计算成像和光学计算等多种应用.
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