射频磁铁子喷射功率对基于Zr-Cu的金属玻璃薄膜机械行为的影响
Tra Anh Khoa Nguyen1, Nhat Minh Dang1, Chi-Hang Lin1,2
1Graduate Institute of Precision Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 402, Taiwan.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|October 14, 2023
概括
射频 (RF) 功率影响基金属玻璃薄膜结构,影响机械性能. 更高的射频功率和测试温度降低了爬行阻力,影响了纳米电子和生物医学应用中的材料性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 机械工程 机械工程
背景情况:
- 基于的金属玻璃薄膜对于纳米电子和生物医学用途至关重要.
- 了解它们在不同条件下的机械行为对于应用程序开发至关重要.
研究的目的:
- 研究如何射频 (RF) 功率和测试温度影响Zr55Cu30Al10Ni5金属玻璃薄膜的纳米结构,形态和爬行行为.
- 为了将喷雾参数与材料特性相关联,以优化薄膜设计.
主要方法:
- 射频磁喷射用于片制备.
- 用X射线衍射和显微镜进行结构和形态表征.
- 机械性能和爬行行为评估的膨胀测试.
主要成果:
- 薄膜是无形的,随着射频功率的增加 (75W到125W),形态从非柱状过渡到柱状.
- 柱状形态与减少的爬行阻力,的模量,残余应力和硬度相关.
- 较高的测试温度增加了爬行应变和减少了爬行应力.
结论:
- 射频功率和测试温度显著影响Zr基金属玻璃薄膜的机械性能和爬行行为.
- 优化射频功率是控制膜形态和提高机械性能的关键.
- 这些发现有助于设计强大的基于Zr的金属玻璃薄膜,用于苛刻的应用.
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