基于MOEMS感应结构的光纤声压传感器的性能表征和优化
Ruling Zhou1, Chenggang Guan1,2, Hui Lv3
1Laboratory of Optoelectronics and Sensor (OES Lab), Hubei University of Technology, Wuhan 430068, China.
Sensors (Basel, Switzerland)
|October 14, 2023
概括
这项研究增强了外部的法布里-佩罗特干扰仪 (EFPI) 光纤声学传感器,以改进检测. 优化的传感器显示出高灵敏度和声学性能,为先进的声学检测应用铺平了道路.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 声学 声学 在声学方面
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 外在的法布里-佩罗特干扰仪 (EFPI) 光纤传感器对于声压检测至关重要.
- 提高这些传感器的灵敏度和声学性能对于增强检测能力至关重要.
研究的目的:
- 调查影响EFPI光纤声压传感器性能的因素.
- 为了提高传感器检测灵敏度和整体声学性能.
主要方法:
- 增强传感器的声压敏感膜,使用额外的敏感环.
- 开发一种新的实时合声学测试方法,用于同时进行光谱和声学度量监测.
- 使用微光电机系统 (MOEMS) 技术制造EFPI型光纤声压传感器.
主要成果:
- 优化的光纤声压传感器实现了2253.2mV/Pa的灵敏度.
- 传感器显示声学过载点 (AOP) 为SPL108.85dB.
- 信号与噪声比 (SNR) 达到79.22dB,表明性能优越.
结论:
- 开发的EFPI光纤声压传感器具有较高的声学性能指数.
- 性能表征和优化为提高传感器能力提供了科学基础.
- 该传感器显示出在声学检测中广泛应用的巨大潜力.
