基于升华的晶圆尺度单层WS2形成通过少数层WS2的自我限制稀释

Mingxi Chen1, Jianwei Chai1, Jing Wu1

  • 1Institute of Materials Research and Engineering (IMRE), Agency for Science, Technology and Research (A*STAR), 2 Fusionopolis Way, Innovis #08-03, Singapore 138634, Republic of Singapore. henry.medinasilva@imec.be.

Nanoscale horizons
|October 18, 2023
PubMed
概括

本研究提出了一种可扩展的方法,用于生长晶圆尺度,严格单层二硫化物 (WS2) 使用现场自限稀释. 这种技术克服了以前的增长限制,为先进电子和光电子技术实现了统一的WS2.