在非网格点集上基于距离生成单曲随机路径,用于光学抛光

科学领域:

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背景情况:

• 由于重复的工具路径,次孔径抛光技术往往会产生中空间频率错误.
• 在正规点集上随机工具路径是缓解这些错误的常见策略.

研究的目的:

• 为光学抛光引入非网格均点集 (斐波纳契和三向).
• 开发有效的算法来计算点设置路径,解决耗时的距离计算.
• 为了验证这些非网格方法在抑制中空间频率错误方面的有效性.

主要方法:

• 在光学抛光模拟中利用了斐波纳契和三向非网格点集.
• 开发了一个基于距离的加权随机 (DBWR) 算法,通过加权邻近点来优化路径生成.
• 实现了线性编程和连接 (LPC) 算法,以调整点顺序和距离以提高效率.
• 在大型光学表面上为大规模点集提出了随机拼接方法.

主要成果:

• 通过强调邻近点的权重,DBWR算法减少了生成时间.
• 通过人工调整点顺序和距离,LPC算法提高了效率.
• 随机接方法显著减少了大规模应用的生成时间.
• 实验验证证了非网格算法的有效性在光学表面绘制中,而没有引入显著的中空间频率错误.

结论:

• 非网格点集与DBWR和LPC算法相结合,为超精密光学抛光提供了有效的解决方案.
• 这些方法成功地抑制了中间空间频率错误,同时提高了处理效率.
• 开发的技术适用于绘制大尺寸光学表面.