概括
我们为分布式布拉格反射器 (DBR) 激光二极管开发了一种新的热隔离技术. 这种方法显著扩大波长调节范围至40nm,提高可调节激光源的成本效益.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体设备 半导体设备
- 光子学是指光子学的使用方法.
背景情况:
- 分布布拉格反射器 (DBR) 激光二极管对于可调节光源至关重要.
- 热调节提供了一种在DBR激光二极管中调节波长的方法.
- 现有的热调方法在调效率和范围方面存在局限性.
研究的目的:
- 提出和演示一个热调节的DBR激光二极管,提高调节效率.
- 使用新的热隔离结构,实现宽波长调范围.
- 为改进的DBR激光二极管开发一个具有成本效益的制造工艺.
主要方法:
- 一个DBR激光二极管的制造,其中包含增益,相控 (PC) 和DBR区域.
- 在DBR和PC区域实施微型加热器,用于粗调和微调.
- 使用逆面蚀刻工艺开发一个热隔离结构,避免InGaAs牺牲层.
主要成果:
- 制造的DBR激光二极管由于热隔离结构而表现出有效的热封闭.
- 获得了大约40nm的波长调范围.
- 这意味着与没有热隔离的设备相比,调范围增加了近四倍.
结论:
- 新的热隔离技术显著提高了DBR激光二极管的波长调节范围.
- 这种方法为开发宽波长调节的DBR激光二极管光源提供了具有成本效益的解决方案.
- 该技术适用于需要具有广泛光谱覆盖的可调节激光源的应用.
