概括
线谱反射计 (LSR) 能够快速,大面积测量透明层的厚度. 这种新方法同时测量了2048个点,大大提高了制造应用的速度.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光学计量学 在光学计量学
- 制造业 制造技术 制造技术
背景情况:
- 对光学透明层 (0.1-1毫米) 的精确厚度测量对于制造至关重要.
- 目前的非接触方法仅限于单点或几点测量,阻碍了线内区域分析.
研究的目的:
- 引入直线光谱反射计 (LSR) 进行快速,大面积,非接触厚度测量.
- 证明LSR在线制造工艺监控方面的能力.
主要方法:
- 通过结合直线光束照明和直线光谱来进行同时的多点测量,开发了LSR.
- 在68毫米的测量线上使用近红外光学进行厚度分析.
- 实现1D样本扫描以实现面积测量.
主要成果:
- LSR同时测量了2048个点,实现了测量速度的两千倍增长.
- 成功证明了单层和双层样本的厚度测量.
- 在线区域测量速度仅受摄像头读取速度限制.
结论:
- 在制造业中,LSR为非接触式,大面积厚度计量提供了显著的进步.
- LSR的高速,多点测量能力解决了传统方法的局限性.
- 液晶钢管适用于透明层的内置质量控制和工艺监控.
