在紫外线和蓝色频段的超高Q合金光学微复原器

科学领域:

• 光学和光学工程的光学和光学工程.
• 材料科学是一种材料科学.
• 量子信息科学是一种量子信息科学.

背景情况:

• 紫外线和可见波长中的光子学对于传感,通信和量子处理至关重要.
• 这些模式中的高光学损失限制了设备的性能,特别是近紫外线频段的芯片微振器,其质量因子没有超过100万.
• 现有的制造方法难以实现先进的紫外线光子应用所需的超低损耗.

研究的目的:

• 为UV和可见光开发超低损耗光子波导和共振器.
• 为了在近紫外线光谱带中实现创纪录的高质量因素.
• 为了展示高性能UV光子设备的可扩展的制造工艺.

主要方法:

• 使用原子层沉积 (ALD) 制造质薄膜.
• 来自ALD制备的膜的光子波导和微振器的图案.
• 在紫外线和可见波长下,光学损失和质量因子 (Q因子) 的表征.

主要成果:

• 经过证明,超低损耗的光子波导和振器由薄膜构成.
• 在近紫外线频段,在390nm时达到1.5×106的创纪录的高Q系数.
• 在488.5nm时获得了1.9 × 10^{6的Q因子,在UV和可见光谱中展示了高性能.}

结论:

• 的原子层沉积提供了一个可扩展的途径,在紫外线和可见模式下实现超低损耗光子设备.
• 证明的高Q系数代表了芯片上的紫外线光子技术的重大进步,克服了以前的局限性.
• 这些结果为增强的光谱传感,通信和量子信息处理应用铺平了道路.