基于低损耗化的超高内在Q的Fabry-Perot Bragg格子纳米共振器

科学领域:

• 光子学是指光子学的使用方法.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 化波导对于高性能,紧的光子集成电路至关重要.
• 现有的设计面临信号损失和可扩展性的挑战.

研究的目的:

• 在二氧化上使用化开发了一种新的法布里-佩罗特-布拉格格纳米共振器.
• 为了达到超高的内在质量因子,并最大限度地减少传播损失.

主要方法:

• 在二氧化平台上制造化.
• 线状网格和周期布拉格网格的整合.
• 对Si3N4薄膜的空腔宽度和回火策略的优化.

主要成果:

• 实现了1930万的超高的内在质量系数.
• 将传播损失降低到大约0.014 dB/cm.
• 展示了一个纳米共振器,可以轻松集成到直线波导中.

结论:

• 开发的Fabry-Perot Bragg格子纳米共振器是高性能光子集成电路的关键组件.
• 这一进步使紧和可扩展的光学系统能够在最小的空间要求下实现.
• 这项技术有可能在集成光子学中的各种应用中发挥作用.