SbOx /Sb2 Te3ALD

Jun Yang1,2, Samik Mukherjee1,3, Sebastian Lehmann1

  • 1Institute for Metallic Materials, Leibniz Institute for Solid State and Materials Research, 01069, Dresden, Germany.

概括

使用 telluride 和氧化物薄膜的超级晶格结构显著增强热电特性. 这种新的方法可以在室温下优化功率因子和电导率.