选择微型惯性光机传感器 通过其机械特性建模的几何参数

Lee Kumanchik1,2, Marina Rezinkina2,3, Claus Braxmaier1,2

  • 1Department of Quantum Metrology, Institute for Quantum Technologies, German Aerospace Center (DLR e.V.), 2022 Wilhem-Runge-Straße 10, 89081 Ulm, Germany.

Micromachines
|October 28, 2023
PubMed
概括

这项研究调查了微型光学机械加速度计,通过数值建模详细说明了它们的机械性能. 优化几何参数可以显著提高这些设备的最小可测加速.