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Updated: Jul 12, 2025
07:55
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Published on: June 18, 2020
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为薄膜SAW设备设计的数字间电极的设计结构
Yicong Qian1, Yao Shuai1,2, Chuangui Wu1,2
1Chongqing Institute of Microelectronics Industry Technology, University of Electronic Science and Technology of China, Chongqing 401332, China.
Micromachines
|October 28, 2023
概括
这项研究引入了一种新的活塞,模拟指和倾斜 (PDT) 结构,以提高表面声波 (SAW) 共振器性能. PDT结构有效地抑制了虚假模式,并改善了 SAW 过器中的阻抗比.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 物理 物理学 物理
背景情况:
- 表面声波 (SAW) 共振器是现代电子设备的关键组件,特别是用于频率过.
- 优化数字间电极的微观结构是改善SAW共振器性能和抑制不必要的虚假模式的关键.
- 现有的SAW共振器设计在实现高阻抗比率和有效减轻横向模式方面面临挑战.
研究的目的:
- 为了研究数字间电极微观结构对SAW共振器性能的影响.
- 提出和验证一种创新的活塞,模拟指和倾斜 (PDT) 结构,以提高 SAW 共振器质量.
- 将PDT结构应用于GLONASS L3波段过器,并评估其有效性.
主要方法:
- 使用3D有限元模拟 (FEM) 来分析共振器的行为.
- 采用光刻技术来制造拟议的结构.
- 实验测试是在一个令人难以置信的高性能表面声波 (I.H.P. 看到) 基板. 基板.
主要成果:
- 为了提高共振器性能,确定了20T (T是周期) 的最佳总光圈长度.
- 调整活塞尺寸可以抑制横向模式,但不能提高阻抗比.
- 拟议的PDT结构经过实验验证,以有效地抑制虚假模式并实现高阻抗比.
结论:
- PDT结构通过抑制虚假模式和提高阻抗比率,显著提高了SAW共振器质量.
- 使用PDT结构的GLONASS L3频段过器实现了8MHz的带宽和3.73dB的插入损失.
- 开发的共振器和波器设计适用于类似的频段,包括BeiDou B2和GPS L2/L5.5.
