环形MEMS陀螺仪的质量添加和删除组合机械修剪方法的研究
Xinyu Wang1, Kai Wu1, Chengxiang Wang1
1College of Intelligence Science and Technology, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China.
Micromachines
|October 28, 2023
概括
本研究介绍了一种用于微电机系统 (MEMS) 陀螺镜的新型机械修剪技术. 该方法有效地减少了频率分裂,显著提高了惯性导航应用的陀螺仪精度.
科学领域:
- 机械工程 机械工程
- 电气工程 电气工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 微电机系统 (MEMS) 陀螺仪对于惯性导航至关重要.
- 在MEMS陀螺仪的制造错误导致频率不匹配,限制性能.
- 现有的方法很难有效地解决显著的频率分割问题.
研究的目的:
- 开发和验证一种机械修剪技术,用于减少频率分裂的环形MEMS陀螺仪.
- 为改善MEMS陀螺仪精度提供一种强大的方法.
- 为了解决当前MEMS陀螺仪制造和性能方面的局限性.
主要方法:
- 对陀螺仪动力学,错误模型和修剪理论的分析.
- 对黄金的质量调整技术和秒激光切除值的研究.
- 一个三步频率修剪过程,涉及黄金的添加和去除.
主要成果:
- 成功地将环形MEMS陀螺仪中的频率分割从4.36 Hz降低到0.017 Hz.
- 证明了该技术对不同频率的频率分割的适用性.
- 验证了理论指导和实验参数分析.
结论:
- 拟议的机械修剪技术有效地减轻了MEMS陀螺仪的频率不匹配.
- 这种方法为提高陀螺仪性能和精度提供了实用解决方案.
- 该技术可适应不同的频率分割场景,提高制造产量.
