概括
我们使用微电机系统 (MEMS) 开发了一种可扩展的光子马赫-泽恩德干扰仪 (MZI),具有可调节的自由光谱范围 (FSR) 和灭绝比 (ER). 这种基于MEMS的方法为集成光子设备提供了低光学损失和高可扩展性.
科学领域:
- 综合光子学 综合光子学
- 光子学是一种光子学.
- 微电子机械系统 (MEMS) 是指微电子机械系统.
背景情况:
- 马赫-泽恩德干扰仪 (MZIs) 是基本的光子装置.
- 在MZIs中实现可调节的自由光谱范围 (FSR) 和灭绝比 (ER) 通常涉及复杂或有损的配置.
- 可扩展性和低功耗对于先进的光子集成电路至关重要.
研究的目的:
- 设计和演示一个可扩展和可编程的集成MZI.
- 为了实现可调节的FSR和ER,光学损失最小.
- 为了利用光子MEMS来动态控制干扰度参数.
主要方法:
- 使用光子MEMS开发一种新的可调节延迟线.
- 将可调节的延迟线集成到MZI架构中.
- 描述MZI的FSR,ER和调节能量.
主要成果:
- 一个MZI的演示,具有动态调的FSR和ER.
- 基于MEMS的可调节延迟线允许在没有额外的光学损失的情况下修改几何长度.
- 为了长度重新配置,实现了8.46 pJ的低调节能量.
- 与级联MZI方法相比,拟议的设备在光学损失方面表现出更好的可扩展性.
结论:
- 开发的基于光子MEMS的MZI为可调光子集成电路提供了可扩展和高效的解决方案.
- 这项技术可以灵活地控制MZI参数,以最小的功耗和光学损失.
- 这种方法为光学信号处理和通信的先进应用铺平了道路.


