MZIMEMS线

Optics letters
|November 1, 2023
PubMed
概括

我们使用微电机系统 (MEMS) 开发了一种可扩展的光子马赫-泽恩德干扰仪 (MZI),具有可调节的自由光谱范围 (FSR) 和灭绝比 (ER). 这种基于MEMS的方法为集成光子设备提供了低光学损失和高可扩展性.