在误导的ScAlMgO4基板上对N极InGaN生长的研究
Mohammed A Najmi1, Pavel Kirilenko1, Daisuke Iida1
1Electrical and Computer Engineering Program, Computer, Electrical and Mathematical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 23955-6900, Thuwal, Saudi Arabia.
Scientific reports
|November 7, 2023
概括
我们在误导的氧化 (SAM) 基板上种植了N极的氧化 (InGaN). 较小的基板误导角度改善了InGaN的晶体质量,取得了前所未有的结果.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 经轴生长 经轴生长 经轴生长
背景情况:
- 对于光电子设备来说,N极的印化 (InGaN) 是至关重要的.
- 在N极InGaN中实现高晶质仍然具有挑战性.
- 氧化 (SAM) 基板为InGaN的潜在替代品提供了Epitaxy.
研究的目的:
- 为了研究基质误导对N极InGaN生长的影响.
- 为了优化晶体质量和N极InGaN.N的表面形态.
- 为了评估N极InGaN的SAM基质的N极InGaN表达式.
主要方法:
- 在偏向错误的SAM基板上 (偏移0.3°至5.8°) 的N极InGaN层的长轴生长.
- 使用原子力显微镜 (AFM) 进行表面形态分析.
- 通过X射线摇摆曲线 (XRC) 测量进行晶体质量评估.
主要成果:
- 在小偏移SAM基板上的N极InGaN显示了六角.
- 较大的误导角度导致InGaN表面更光滑.
- 较小的误导角度显著改善了InGaN的晶体质量.
- 在0.5°偏移SAM基板上,为N极InGaN实现了前所未有的XRCFWHM223弧秒.
- 基质阶段形态学极大地影响了InGaN的晶体质量和表面形态学.
结论:
- 基板误导是控制SAM基板上的N极InGaN生长的一个关键参数.
- 具有特定误导角度的SAM基板可以实现高质量的N极InGaN表.
- 这项工作表明了误导SAM基板对于基于InGaN的先进设备制造的潜力.


