对薄膜VCSEL在复合金属基板上的性能进行研究

科学领域:

• 光电学是指光电子产品.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 半导体设备 半导体设备

背景情况:

• 垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) 是重要的光电子元件.
• 传统制造往往依赖甲 (GaAs) 基板,这可能会带来热挑战.
• 薄膜VCSEL需要坚固的基板,以提供高效的散热和性能.

研究的目的:

• 为了展示薄膜,p-side up VCSELs 在复合金属 (铜/英华/铜;CIC) 基板上.
• 为了评估VCSELs的CIC基板的热管理能力.
• 为了比较VCSEL在CIC上的电气和光学性能与传统的GaAs基板.

主要方法:

• 薄膜VCSEL的制造使用双结合转移和基板去除技术.
• 使用复合CIC基质,具有特定的铜和英华层组成 (70:30 Fe:Ni).
• 在1mA电流下电 (电压) 和光 (输出功率) 属性的表征.

主要成果:

• 成功地将VCSEL层转移到CIC基板,而不会发生裂纹.
• 与GaAs (1.39V,21.91mW) 相比,在CIC上的VCSEL显示出略低的电压 (1.37V) 和更高的输出功率 (24.40mW).
• 50微米的CIC基板显示出优越的散热,提高了设备的性能.

结论:

• 复合金属 (CIC) 基板是薄膜VCSEL制造的可行替代品.
• CIC基板显著改善了VCSEL的热管理和设备特性.
• 在CIC上开发的薄膜VCSEL显示出由于更好的热性能而提高了电气和光学性能.