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Updated: Jul 3, 2026

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在Cl-Si上的缺陷介导的原子层蚀刻过程:一个原子的洞察力
Peizhi Wang1, Fengzhou Fang1,2
1Centre of Micro/Nano Manufacturing Technology (MNMT-Dublin), University College Dublin, Dublin D4, Ireland.
The journal of physical chemistry. C, Nanomaterials and interfaces
|November 8, 2023
概括
点缺陷通过降低吸附能量和激光值,显著提高了激光诱导的原子层蚀刻 (ALE). 这种缺陷介导的机制使得高效,无损的Cl-Si的层次蚀刻成为可能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面科学是一门学科.
- 计算化学的计算化学
背景情况:
- 原子层蚀刻 (ALE) 对于半导体制造至关重要.
- 在原子层面上理解激光诱导ALE中的缺陷作用是有限的.
研究的目的:
- 研究点缺陷对激光诱导的Cl-Si100的ALE的影响.
- 阐明控制缺陷介导蚀刻的原子化机制.
主要方法:
- 密度函数理论 (DFT) 的计算.
- 实时依赖时间的DFT模拟.
- 对原始和有缺陷的Si100) 表面进行比较分析.
主要成果:
- 点缺陷在激光照射下增强了SiCl分子的脱吸.
- 缺陷降低了脱吸能量屏障和激光强度值.
- 通过密度状态图表观察到带间隙内的缺陷水平.
结论:
- 一个缺陷介导的蚀刻模式解释了层次的ALE.
- 点缺陷提高了蚀刻选择性,并使无损处理成为可能.
- 提供了对激光诱导ALE缺陷角色的原子洞察力.
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