在化过程中,玻璃基板上的CoFeSm薄膜的表面粗性引起的重要物理特征的变化
Chi-Lon Fern1, Wen-Jen Liu2, Yung-Huang Chang3
1Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan.
Materials (Basel, Switzerland)
|November 14, 2023
概括
这项研究探讨了厚度和回火如何影响CoFeSm薄膜. 更光滑的表面增强磁性和导电性,同时减少光学透明度和接触角度.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- CoFeSm薄膜正在研究它们的潜在应用.
- 了解加工参数对薄膜性能的影响至关重要.
研究的目的:
- 分析CoFeSm薄膜的结构性,磁性,电性,纳米机械性,粘合性和光学性质.
- 为了确定薄膜厚度和回火温度对这些特性的影响.
主要方法:
- 通过高真空蒸发将Co60Fe20Sm20薄膜 (10-50nm) 沉积在玻璃基板上.
- 在室温 (RT),100,200和300°C时进行回火处理.
- 使用X射线衍射 (XRD),电气测量,原子力显微镜 (AFM),纳米缩影,接触角度和透射率光谱学进行表征.
主要成果:
- XRD显示无形结构;电阻力随着厚度和回火而降低.
- AFM 显示表面粗度降低,厚度和回火率增加.
- 磁性易感性 (χac) 随着厚度和回火而增加.
- 硬度和Young的模量随着厚度的增加而降低;薄膜具有水友性,表面能量增加.
- 传输率随着厚度的增加而下降,这是由于吸收的增强.
结论:
- 表面粗性显著影响CoFeSm薄膜的磁性,电性,粘合性和光学性质.
- 更光滑的表面增强了磁感应能力和电导率,同时减少了光学透明度和接触角度.
- 化温度和薄膜厚度是控制CoFeSm薄膜性能的关键因素.


