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Yi Yin1,2, Yingtao Tian1, Jialuo Ding2
1Department of Engineering, Lancaster University, Bailrigg, Lancaster LA1 4YW, UK.
本研究提出了一种新的方法,通过结合计算流体动力学 (CFD) 和人工神经网络 (ANN) 来预测电子束 (EBW) 透深度. 这种高效的方法降低了成本,并改善了接质量控制.
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