通过有限元模拟设计,优化和性能评估单孔薄膜批量声学共振器通过有限元模拟

Raju Patel1, Manoj Singh Adhikari2, Shailendra Kumar Tripathi3

  • 1School of Electronics Engineering (SENSE), Vellore Institute of Technology (VIT), Chennai 600127, India.

PubMed
概括

本研究介绍了一种用于气体传感的新型声学共振器,其高质量系数 (Q) 为214和有效电机联接系数为10.57%. 响应器在1.84 GHz工作,显示了先进传感器应用的潜力.