在450 nm时,具有低于dB/cm的传播损失的高封闭度合金波导在450 nm时具有低于dB/cm的传播损失

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 光子学是指光子学的使用方法.
• 光学工程是指光学工程.

背景情况:

• 无形在可见光谱中表现出高透明度,适用于低损耗光学波导.
• 目前在可见区域的烯酸波导在封闭性方面存在限制,这影响了光子集成电路中的设计灵活性和集成密度.

研究的目的:

• 为短波长应用开发高质量的无形合金波导,具有高光学限制.
• 克服以前设计的局限性,并提高光子集成电路性能.

主要方法:

• 使用原子层沉积 (ALD) 制造无形膜.
• 开发一种高质量的蚀刻面具和一种高度选择性的BCl3等离子蚀刻工艺.
• 蚀刻无形烯酸波导的波导厚度高达800nm.

主要成果:

• 成功制造了高封闭度的无形烯酸波导.
• 在450nm波长下实现0.8dB/cm的单模传播损失.
• 证明了迄今为止蓝光的低损耗高限制波导.

结论:

• 开发的ALD和等离子蚀刻工艺使得高性能无形波导的制造成为可能.
• 这些波导代表了可见光光子学中低损耗,高限制应用的重大进步,特别是蓝光.
• 这些发现为提高光子集成电路的设计灵活性和集成密度铺平了道路.