为制备FeGaB合金磁强制性薄膜的协同选过程的优化
Qijing Lin1,2,3,4, Zelin Wang1, Qingzhi Meng1
1State Key Laboratory of Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|November 24, 2023
概括
这项研究优化了铁-- (Fe0.8Ga0.2B) 磁强化薄膜的联合喷射. 最低的强制性是通过调整喷射功率来实现的,从而增强传感器和复合材料的磁性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜沉积的情况
- 磁力学 磁力学 是一种
背景情况:
- 强磁性材料对于传感器和执行器至关重要.
- 控制薄膜特性是优化设备性能的关键.
- 铁-- (Fe0.8Ga0.2B) 合金表现出有前途的强磁性行为.
研究的目的:
- 为了研究Fe0.8Ga0.2B薄膜的共同喷射过程.
- 通过控制喷射参数来调节软磁性能.
- 为了实现最佳的薄膜特性,用于增强的设备应用.
主要方法:
- 在Fe0.8Ga0.2B合金薄膜中进行联合喷射.
- FeGa目标的可变直流 (DC) 喷射功率.
- 调整B.目标的射频 (RF) 喷射功率.
- 薄膜特性,包括强制性和微观结构的表征.
主要成果:
- Fe0.8Ga0.2B薄膜沉积在一个均的厚度和无形结构.
- 增加FeGa直流功率增加了由于增强的磁性和谷物生长而增加的强制性.
- 增加B射频功率最初下降,然后增加强制性,表明晶体转变为无形.
- 最低的强制性为7.51 Oe,在20 W FeGa DC功率和60 W B RF功率下实现.
结论:
- 协同喷射过程允许有效调整Fe0.8Ga0.2B薄膜磁性.
- 优化的喷射参数产生较低的强制性,对于磁电应用是可取的.
- 这项工作为改善磁电复合材料和传感器灵敏度提供了途径.
