Tsan-Wen Lu1, Zhen-Yu Wang1, Kuang-Ming Lin1

  • 1Department of Photonics, College of Electrical and Computer Engineering, National Yang Ming Chiao Tung University, Hsinchu 300093, Taiwan.

PubMed
概括

我们开发了一种1D光子晶体纳米腔传感器,用于精确的压力和位置检测. 这种光学传感器实现了高灵敏度,检测到最小的压力变化,并以微米分辨率确定位置.