通过Lens-Axicon激光干扰刻版制作的等离子同心圆形格子的实时成像
Mahyar Mazloumi1, Ribal Georges Sabat1
1Department of Physics and Space Science, Royal Military College of Canada, P.O. Box 17000, STN Forces, Kingston, ON K7K 7B4, Canada.
Micromachines
|November 25, 2023
概括
研究人员开发了一种可扩展的激光干扰光刻法,用于创建光子学和等离子学的同心圆形格子. 这种技术使成本高效,大面积的制造和表面等离子体共振颜色的准确表征.
科学领域:
- 光子学和等离子学.
- 纳米制造的纳米制造
- 光学工程是指光学工程.
背景情况:
- 同心圆形网格是极化独立应用的关键衍射光学元件.
- 传统的制造方法,如电子束光刻,是低通量和昂贵的.
- 对于这些网格,存在需要可扩展和具有成本效益的制造技术.
研究的目的:
- 开发一种新的,可扩展的激光干扰光刻技术,用于制造同心圆形格子.
- 为了研究在亚博烯分子玻璃上制造的格子的等离子特性,并转移到金/环氧膜中.
- 为了验证表面等离子体共振 (SPR) 颜色分析的实时成像方法.
主要方法:
- 使用贝塞尔束 (镜头-轴子配置) 的激光干扰光刻法来图案阿佐分子玻璃.
- 将纳米结构图案转移到透明的金/环氧薄膜上.
- 使用常规光谱和45兆像素数码相机进行实时SPR彩色成像.
主要成果:
- 成功制造出具有可选择值的同心圆形格子.
- 在更大的表面积上证明了增强的可扩展性和简化制造.
- 观察到实时摄影SPR成像和光谱测量之间存在很强的相关性.
结论:
- 这种新的激光干扰光刻技术为制造同心圆形格子提供了可扩展和具有成本效益的方法.
- 实时摄影成像是一种有效和准确的方法,用于对SPR反应进行色度测量研究.
- 这一进步促进了薄膜光子学和等离子学中的应用.


