SiLiNbO3

Huiyi Zhang1, Xiaojun Qiao1, Huifen Wei2

  • 1Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory, North University of China, Taiyuan 030051, China.

Micromachines
|November 25, 2023
PubMed
概括

这项研究介绍了一种使用酸 (LiNbO3) 悬臂梁的新型压电智能设备模型. 这种新的设计为纳米定位应用实现了高精度和稳定性.