印刷MEMS:喷墨技术应用于惯性加速度计的制造
Roberto Bernasconi1, Gabriele Pietro Invernizzi1, Elisa Gallo Stampino1
1Dipartimento di Chimica, Materiali e Ingegneria Chimica "Giulio Natta", Politecnico di Milano, Via L. Mancinelli 7, 20131 Milano, Italy.
Micromachines
|November 25, 2023
概括
研究人员使用喷墨印刷技术开发了一种低成本,高灵敏的聚合物加速度计. 这种新的微电子机械系统 (MEMS) 在各种应用中提供了准确加速度测量的潜力.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 机械工程 机械工程
- 微型制造业的微型制造
背景情况:
- 微电子机械系统 (MEMS) 制造正在推进2D和3D打印.
- 喷墨材料沉积为聚合物基传感器提供了一个可扩展,具有成本效益的方法.
研究的目的:
- 提出并展示一个完全喷墨打印的聚合物加速度计.
- 为应对用于MEMS的喷墨沉积SU-8的制造挑战.
主要方法:
- 使用的喷墨材料沉积用于SU-8聚合物结构.
- 实施了一种阶段性交联过程,以优化设备形状并减少缺陷.
- 进行了形态表征和光学读取以进行功能评估.
主要成果:
- 成功制造了一个功能性的弹质量聚合物加速度计.
- 实现了0-0.7g的加速范围.
- 显示分辨率为2×10−3g,灵敏度为6745nm/g.
结论:
- 喷墨印刷是一种可行的技术,用于生产聚合物加速度计.
- 开发的设备显示了在小排量上进行高精度加速度测量的潜力.
