使用金属绝缘体半导体结构同时感知移动光源的速度和位置
Zixuan Liao1, Jidong Li2, Yuyang Long1
1College of Aerospace Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, P. R. China.
ACS applied materials & interfaces
|November 29, 2023
概括
本研究介绍了一种简单的金属绝缘体半导体装置,可以检测光束的位置和速度. 这种单一设备解决方案与复杂的传感器阵列相比,简化了运动传感.
科学领域:
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体器件是指半导体器件.
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 光探测器对于感知光的位置,强度和波长等属性至关重要.
- 检测光束运动速度通常需要复杂的设备阵列.
研究的目的:
- 开发一种单一的,自动供电的设备,能够感知光束或阴影的位置和速度.
- 为了克服现有的多设备系统的复杂性,以检测运动速度.
主要方法:
- 一个简单的金属绝缘体半导体 (MIS) 装置的制造.
- 在金属终端之间生成的取决于速度的输出电压.
- 调查涉及光引起的表面电位变化和电容电荷合的潜在机制.
主要成果:
- 展示了一种单一的MIS设备,用于自动供电感应光束位置和速度.
- 观察到与光束速度直接相关的明显输出电压.
- 展示了使用外部门电压调节取决于速度的电压幅度的能力.
结论:
- 开发的MIS设备为多功能光传感提供了一个简化,紧的解决方案.
- 这项技术可以同时检测光的位置和运动速度.
- 具有降低系统复杂性的先进光学传感应用的潜力.


