可调节的Ga₂O₃太阳盲光传感性能通过热调整工程和能量频段调制

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 半导体物理 半导体物理
• 光电学是指光电子产品.

背景情况:

• 氧化 (Ga2O3) 是一种超宽带隙半导体.
• 它的太阳盲光探测器 (PD) 的切断波长小于280nm.
• 优化PD性能对于高级应用程序至关重要.

研究的目的:

• 调查用于调整Ga2O3 PD性能的热重新排序工程.
• 分析回火大气对Ga2O3薄膜的影响.
• 了解性能提升的基础物理.

主要方法:

• 在真空,O2和氧等离子体大气中火Ga2O3膜.
• 描述PD性能指标 (暗电流,照片与暗的比率).
• 使用第一原则计算进行能量频段分析.

主要成果:

• 暗电流从154.63 pA减少到269 fA.
• 照相到暗电流比率从288增加到2.85 × 10^4.4 从288增加到2.85 × 10^4.
• 在氧气中火减少了氧气空缺,改善了PD性能.

结论:

• 热重新排序工程有效地增强了Ga2O3的PDs.
• 减少氧气空位是提高绩效的关键.
• 这项工作为优化宽带间隙氧化物半导体PDs提供了指导.