嵌入纳米晶体的氧化被动化接触物的化
Masashi Matsumi1, Kazuhiro Gotoh1,2,3, Markus Wilde4
1Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan.
Nanotechnology
|November 30, 2023
概括
等离子处理通过引入基,有效地使氧化与自然接触无能化. 优化的条件产生了最高的暗示开放电路电压,而不会降低电子传输.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
- 表面化学 表面化学
背景情况:
- 对太阳能电池来说,消极接触非常重要.
- 氧化中的悬浮键阻碍了设备的性能.
- 纳米晶体 (NATURE接触) 提供了增强的被动化.
研究的目的:
- 调查氧化与NATURE接触的受动效应.
- 比较气回火与等离子处理 (HPT).
- 优化HPT参数,以改善被动化和电性能.
主要方法:
- 使用嵌入的纳米晶体制造氧化消极接触器 (NATURE接触器).
- 气回火和等离子处理 (HPT) 用于被动化.
- 电气性能测量 (隐含的开放电路电压,接触电阻).
- 深度分析和表面粗度分析.
主要成果:
- 通过引入基,HPT有效地使自然接触被动化.
- 优化的HPT (500°C,15分钟,0.5Torr) 最大化了的加入.
- 实现了 724 mV 的高暗示开放电路电压.
- 在优化的HPT下,接触电阻和表面粗度的最小增加.
结论:
- 与气体回火相比,等离子处理是使氧化与NATURE接触被动化的更优质方法.
- 优化的HPT参数可以提高被动化性能,而不会影响电子传输.
- 自然与HPT的接触显示出高效太阳能电池的巨大潜力.


