高透明的导电性Ga-doped ZnO基多层薄膜,嵌入超薄TiN层,沉积在含氧大气中

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 薄膜技术 薄膜技术
• 光电学是指光电子产品.

背景情况:

• 透明导电氧化物 (TCO) 对电子设备至关重要.
• 金属层氧化在TCO/金属/TCO多层沉积中是一个挑战.
• 无透明电极非常受欢迎.

研究的目的:

• 研究化 (TiN) 作为TCO薄膜中金属层的替代品的使用.
• 评估TiN层厚度对氧化 (GZO) /TiN/GZO多层薄膜的性能的影响.
• 开发无透明电极,以提高性能.

主要方法:

• 使用磁铁喷射制造GZO/TiN/GZO多层薄膜的制造.
• TiN层厚度 (<10 nm) 的系统变化.
• 结构性,形态性,电气性和光学性能的表征.

主要成果:

• 通过8nmTiN层实现最佳性能.
• 电阻为4.68 × 10−5 Ω厘米.
• 在可见光谱中,光学传输率超过91%.
• 与传统的金属嵌入膜相比,性能优越.

结论:

• 化是金属层的有效替代品,可以防止TCO薄膜的氧化.
• 具有8纳米TiN层的GZO/TiN/GZO多层结构显示出出色的电气和光学性能.
• 这种方法为开发高性能,无透明电极提供了可行的途径.