微观边缘投影造型测量使用时间频率分割多重复合的反交叉式绝对相位检索方法
Optics express
|December 2, 2023
概括
这项研究引入了一种改进的微观边缘投影造型测量 (MFPP) 绝对相位检索方法. 新技术通过消除3D形状测量中的波交叉声来提高准确性和稳定性.
科学领域:
- 光学计量学 在光学计量学
- 3D形状测量 3D形状测量
- 精密工程 精密工程是指精密的工程.
背景情况:
- 微观边缘投影特征测量 (MFPP) 传统上受到低准确度和稳定性的困扰.
- 这主要是由于用于绝对相位检索的复合频率边缘方法中的波交叉声.
研究的目的:
- 为MFPP提出一种新的绝对相位检索方法,有效消除通道间交叉声.
- 为了提高微观应用中3D形状测量的精度和稳定性.
主要方法:
- 引入了防护频段,以适应第二波的频道.
- 消除了第二和基本频率之间的异名.
- 采用相位转移算法进行无交叉声波相位图解调.
主要成果:
- 成功消除了波交叉声,这是传统的MFPP的一个重要问题.
- 在没有通道间干扰的情况下实现了准确的相位图.
- 证明了不连续的平面和球形表面的有效3D重建.
结论:
- 拟议的反交叉接方法显著改善了MFPP的绝对相位检索.
- 这种技术适用于半导体制造和MEMS检查等领域的高精度3D形状测量.


