增长中断对AlGaN/GaN紫外线多量子井的形态和发光特性的影响
Optics express
|December 2, 2023
概括
持续增长的AlGaN/GaN紫外多量子井 (UV MQWs) 提高了表面平坦度和发光效率. 这种方法减少了与增长中断相比的缺陷和杂质结合,提高了UV MQW的性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 对于光电子设备来说,AlGaN/GaN紫外多量子井 (UV MQW) 是至关重要的.
- 控制生长参数对于优化MQW属性至关重要.
研究的目的:
- 调查增长中断对AlGaN/GaN紫外线MQW表面和发光效应的影响.
- 为了比较UV MQW制造的连续增长与中断增长策略.
主要方法:
- 使用金属有机化学蒸汽沉积 (MOCVD) 制造AlGaN/GaN紫外线MQW样本.
- 使用原子力显微镜 (AFM) 等技术分析表面形态.
- 通过光发光 (PL) 谱学评估发光特性.
主要成果:
- 与中断增长相比,连续增长导致了较低的边缘脱位密度和更平坦的表面.
- 持续增长显著提高了UVMQWs的发光效率.
- 增长中断导致杂质的增加和表面粗度增加.
结论:
- 井和屏障层的持续生长对于AlGaN/GaN UV MQWs来说是优越的.
- 尽量减少生长中断,减少缺陷,提高光学性能.
- 在连续生长过程中控制的Al-GaN反应可以防止接口问题并增加发光.


