的激光处理与GHz爆发的第三波器精确的微型制造

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 激光物理 激光物理
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 五秒激光处理对于微型制造至关重要.
• 频率为GHz的爆发模式激光器提高了处理质量和效率.
• 目前的爆发模式应用仅限于近红外波长.

研究的目的:

• 研究爆发脉冲的波长转换到紫外线 (UV) 区域.
• 评估破裂紫外线处理用于剥离的好处.
• 展示在微型制造中喷射的紫外线处理的实用性.

主要方法:

• 通过第三和生成生成的UV爆发脉冲.
• 使用线性色彩共聚焦传感器进行过程评估.
• 破裂模式和非破裂处理的比较除特性.

主要成果:

• 爆发模式处理导致表面粗度和碎片明显减少.
• 高质量的激光处理是通过爆发模式的紫外线消光来实现的.
• 一个球形结构的成功削被证明是使用爆破的紫外线处理与线内反.

结论:

• 与非爆破方法相比,喷射式UV激光加工提供了优越的微型制造质量.
• 这种技术显示出对微米尺度结构的精确微制造有很大的潜力.
• 突发脉冲的波长转换为紫外线扩大了它们在先进制造中的应用.