在玻璃和聚烯基底板上喷射的多层薄膜的性能与角度直流磁铁子的比较 协同喷射系统
Preecha Changyom1, Komgrit Leksakul2, Dheerawan Boonyawan3
1Ph.D. Degree Program in Industrial Engineering, Department of Industrial Engineering, Faculty of Engineering, Chiang Mai University, Chiang Mai 50200, Thailand.
Heliyon
|December 4, 2023
概括
这项研究优化了玻璃和聚烯上复杂的多层薄膜 (,,黄铜) 的喷雾条件. 最佳参数因基质而异,影响薄膜厚度,粗度和形态.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 表面工程是什么?表面工程是什么?
背景情况:
- 多层膜结构对于各种技术应用至关重要.
- 控制薄膜特性需要精确优化沉积参数.
- 了解基板的影响是定制膜特性的关键.
研究的目的:
- 使用直流磁铁子联合喷射制造复杂的多层薄膜.
- 为了比较玻璃和聚烯基底板上的薄膜特性.
- 为了优化喷雾参数,使用Box-Behnken设计.
主要方法:
- 使用一个定制的角形直流磁铁子联合喷射系统与Cu,Al和黄铜目标.
- 采用Box-Behnken设计,以优化基板旋转速度,喷时间和电压.
- 使用ANOVA和显微镜分析薄膜厚度,粗度和表面形态.
主要成果:
- 所有测试的变量都显著影响了薄膜厚度和粗度 (P<0.05).
- 在玻璃和聚烯基底板之间,最佳喷条件有所不同.
- 表面形态不同,玻璃上呈现出密集的颗粒,聚烯上呈现出槽/断裂.
结论:
- 基板类型显著影响喷射多层膜的特性和形态.
- 开发的喷工艺允许在两个基板上均的元素分布 (Cu,Al,Zn).
- 优化策略必须考虑到薄膜沉积中的基质特定反应.
