影响Mo膜破裂的参数及其更广泛的意义

M J Cordill1,2, P Kreiml1, T Jörg2

  • 1Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria.

MRS advances
|December 4, 2023
PubMed
概括

碎片化测试可以不准确地测量薄膜断裂应力. 在现场的X射线衍射通过考虑薄膜特性提供了更好的准确性,增强了多层材料的断裂分析.