超高真空拉曼光谱仪用于准备III-V半导体表面

Wijden Khelifi1, Damien Canneson1,2, Maxime Berthe1

  • 1University Lille, CNRS, Centrale Lille, University Polytechnique Hauts-de-France, Junia-ISEN, UMR 8520 - IEMN, F-59000 Lille, France.

概括

本研究介绍了一种新的光纤拉曼光谱系统,用于超高真空中半导体表面的现场分析. 该技术在制备过程中有效监控III-V半导体异构结构的清洁性.