使用细分解调方法进行载波光学干扰仪用于动态测量轴对称表面变形
Jingtao Dong1, Liyuan Xie1, Shuo Wang1
1Anhui Province Key Laboratory of Measuring Theory and Precision Instrument, School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, Anhui, China.
The Review of scientific instruments
|December 8, 2023
概括
一种新型载体光干扰仪 (COVI) 动态测量纳米级表面变形. 这种方法使用多普勒位移精确地绘制动态变化的地图,使微机械和热物理研究的进步.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 纳米技术纳米技术
- 机械工程 机械工程
背景情况:
- 纳米级表面变形的动态测量对于微机械和热物理研究至关重要.
- 现有的方法可能缺乏某些应用所需的精度或动态范围.
研究的目的:
- 引入一种新的干扰测量技术,用于动态测量轴对称表面变形.
- 为了证明拟议方法对高精度,实时变形分析的能力.
主要方法:
- 使用载波光干扰仪 (COVI) 与拉盖尔-高斯束的同轴叠加.
- 使用旋转式切割机来引入载波频率和多环细分检测方案.
- 分析多普勒位移以确定表面变形速度,并将它们整合起来以获得变形形状.
主要成果:
- COVI成功地通过动态测量了外力诱导的轴对称表面变形.
- 表面变形速度的测量误差在20-86nm/s的速度内在 (-2.1,1.1nm/s) 之内.
- 该系统实现了20nm/s的可测量速度极限,表面变形形状误差小于2.5nm.
结论:
- 载体光干扰仪 (COVI) 提供了一种可行的方法,用于动态纳米级表面变形测量.
- 该技术提供了高精度和灵敏度,在各种科学和工程领域都有潜在的应用.
