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Updated: Jul 9, 2025
08:07
Laser-induced Forward Transfer of Ag Nanopaste
Published on: March 31, 2016
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脉冲激光沉积的灵活硬件概念用于大面积和组合组合的组成扩散
Michael Lorenz1, Holger Hochmuth1, Holger von Wenckstern1
1Leipzig University, Felix Bloch Institute for Solid State Physics, Semiconductor Physics Group, Linnéstr. 5, D-04103 Leipzig, Germany.
The Review of scientific instruments
|December 8, 2023
概括
本研究提出了一种灵活的脉冲激光沉积 (PLD) 硬件概念,用于功能薄膜生长. 它可以在没有硬件修改的情况下进行大面积沉积和量身定制的组合扩散.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜沉积的情况
- 功能性材料 功能性材料
背景情况:
- 脉冲激光沉积 (PLD) 是制造薄膜的一种多功能技术.
- 现有的PLD系统通常需要对不同的沉积要求进行硬件更改.
研究的目的:
- 描述一个新的,可适应的PLD硬件概念.
- 为了使大面积沉积和控制的组成梯度.
主要方法:
- 实现计算机控制的目标,基板和面具的运动.
- 使用适当的目标阶段组合.
- 利用在机械和高温组件设计方面的长期经验.
主要成果:
- 展示了一个能够在直径高达4英寸的区域上沉积的PLD系统.
- 实现了量身定制的横向和垂直组合扩散.
- 将耗时硬件修改的需求降至最低.
结论:
- 展示的PLD硬件为研究和演示器级功能薄膜制造提供了一个简单,可靠和灵活的解决方案.
- 该设计解决了PLD系统中关键的机械和高温挑战.
