制造超短半径亚米X射线镜子,使用动态模板沉积与图形校正
Takenori Shimamura1,2, Yoko Takeo2,3, Takashi Kimura3
1School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo, Tokyo 113-8656, Japan.
The Review of scientific instruments
|December 11, 2023
概括
研究人员开发了新方法,以纳米精度创建高度曲的X射线镜子. 这些先进的镜子实现了衍射有限的聚焦,为纳米级成像技术提供了新的可能性.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 制造用于X射线应用的高度曲的镜子具有挑战性.
- 现有的方法在很小的曲率半径上难以达到纳米级的精度.
研究的目的:
- 介绍圆圆圆柱形X射线镜的纳米尺度生产和计量学的新方法.
- 为了实现前所未有的小触角弧度半径 (160毫米).
主要方法:
- 动态笔沉积用于亚毫米尺度图形校正.
- 使用阴影罩来控制沉积流量,并改善薄膜厚度配置.
- 采用干扰度测量,接触型度测量和X射线测量术用于计量学.
主要成果:
- 制作一个长2毫米,半径160毫米,宽10毫米的镜子.
- 实现了薄膜厚度形状,尺寸比率比现有方法高50倍.
- 证明了在300 eV的142nm焦点尺寸的衍射有限X射线聚焦.
结论:
- 开发的方法允许超精确地制造高度曲的镜子.
- 这些进步对于纳米级,光子饥饿的X射线技术至关重要.
- 这项研究推动了对先进的科学仪器制造镜子制造的界限.
