植入式微电极阵列的制造使用循环烯共聚合物和SU-8通过光交联层化

科学领域:

• 生物材料工程 生物材料工程
• 神经接口的神经接口
• 微型制造业的微型制造

背景情况:

• 开发先进的可植入电极对于高分辨率的神经记录和刺激至关重要.
• 对于神经植入物,现有的制造方法经常面临材料兼容性和工艺复杂性的挑战.
• 循环烯酸共聚物 (COC) 和SU-8为神经电极应用提供了有前途的特性,如生物相容性和化学耐药性.

研究的目的:

• 介绍一种用于植入神经电极的新型制造工艺.
• 评估循环烯酸共聚合物 (COC) 和SU-8作为神经电极材料的适用性.
• 通过简化,无热的过程来实现高分辨率的电极图案.

主要方法:

• 使用循环烯酸共聚合物 (COC) 基板制造可植入电极.
• 使用光立体法应用SU-8被动化层,确保网站开放.
• 使用光交联层层对基板和被动化层的粘合而无热.
• 为图案电极实现20μm的细线宽度.

主要成果:

• 由于其生物相容性,化学耐药性和热稳定性,COC和SU-8已证明适用于植入的神经电极.
• 电极在COC薄膜上成功地形成了图案.
• 在SU-8被动化层的有效涂层中,保持了部位开放.
• 使用无热光交联层技术生产精确20μm线宽的电极.

结论:

• 提出的制造工艺是有效的创建高分辨率的可植入的神经电极.
• COC 和 SU-8 是用于先进神经电极开发的合适材料.
• 无热光交联层法为电极制造提供了一种简化和高效的方法.